専門家の視点から見ると、チップの製造プロセスは非常に複雑で面倒です。しかし、ICの産業チェーン全体から見ると、主にIC設計 → IC製造 → パッケージング → テストの4つの部分に分けられます。
チップ製造プロセス:
1. チップ設計
チップは小型ながらも極めて高精度な製品です。チップの製造には、まず設計が重要です。設計には、EDAツールやIPコアを活用した処理に必要なチップ設計の支援が必要です。
チップ製造プロセス:
1. チップ設計
チップは小型ながらも極めて高精度な製品です。チップの製造には、まず設計が重要です。設計には、EDAツールやIPコアを活用した処理に必要なチップ設計の支援が必要です。
3. シリコンリフティング
シリコンを分離した後、残った材料は廃棄されます。複数の工程を経て得られた純粋なシリコンは、半導体製造に使用できる品質に達します。これがいわゆる電子シリコンです。
4. シリコン鋳造インゴット
シリコンは精製後、シリコンインゴットに鋳造されます。インゴットに鋳造された電子グレードのシリコン単結晶の重量は約100kgで、シリコンの純度は99.9999%に達します。
5. ファイル処理
シリコンインゴットを鋳造した後、全体を非常に薄いウエハー(一般的にウェーハと呼ばれる)に切断する必要があります。その後、ウェーハは表面が鏡のように滑らかになるまで完璧に研磨されます。
シリコンウェハの直径は8インチ(200mm)と12インチ(300mm)があります。直径が大きいほど、1チップあたりのコストは低くなりますが、加工の難易度は高くなります。
5. ファイル処理
シリコンインゴットを鋳造した後、全体を非常に薄いウエハー(一般的にウェーハと呼ばれる)に切断する必要があります。その後、ウェーハは表面が鏡のように滑らかになるまで完璧に研磨されます。
シリコンウェハの直径は8インチ(200mm)と12インチ(300mm)があります。直径が大きいほど、1チップあたりのコストは低くなりますが、加工の難易度は高くなります。
7. 日食とイオン注入
まず、フォトレジストの外側に露出したシリコン酸化物とシリコン窒化物を腐食させ、結晶管間の絶縁のためにシリコン層を析出させます。その後、エッチング技術を用いて底部のシリコンを露出させます。次に、シリコン構造にホウ素またはリンを注入し、他のトランジスタと接続するために銅を充填し、さらにその上に接着剤を塗布して層構造を形成します。一般的に、チップは数十層に及ぶ層で構成され、まるで密集した高速道路のようです。
7. 日食とイオン注入
まず、フォトレジストの外側に露出したシリコン酸化物とシリコン窒化物を腐食させ、結晶管間の絶縁のためにシリコン層を析出させます。その後、エッチング技術を用いて底部のシリコンを露出させます。次に、シリコン構造にホウ素またはリンを注入し、他のトランジスタと接続するために銅を充填し、さらにその上に接着剤を塗布して層構造を形成します。一般的に、チップは数十層に及ぶ層で構成され、まるで密集した高速道路のようです。
投稿日時: 2023年7月8日